Статья. Опубликована в ПТЭ, 1964, №04, с. 5-13. Описаны масс-спектрометры: омегатрон, фарвитрон, радиочастотный, времяпролетный, электрический фильтр масс и др. Приведены основные характеристики, указаны достоинства и недостатки этих приборов.
Чтобы скачать этот файл зарегистрируйтесь и/или войдите на сайт используя форму сверху.
М.: Наука, 1980. – 336 с.
В книге рассмотрен масс-спектрометрический метод анализа малых концентраций примесей в летучих неорганических и металлоорганических веществах особой чистоты, находящих применение для получения простых и сложных веществ особой чистоты и выращивания полупроводниковых, изолирующих и токопроводящих слоев из газовой фазы. Описано применение ионизации...