Агафонов И.Л., Девятых Г.Г. Масс-спектрометрический анализ газов и паров особой чистоты

М.: Наука, 1980. – 336 с.
В книге рассмотрен масс-спектрометрический метод анализа малых концентраций примесей в летучих неорганических и металлоорганических веществах особой чистоты, находящих применение для получения простых и сложных веществ особой чистоты и выращивания полупроводниковых, изолирующих и токопроводящих слоев из газовой фазы. Описано применение ионизации электронным ударом, электрическим полем с высоким градиентом потенциала и фотоионизации. В Приложении к книге содержатся масс-спектры свыше 200 веществ рассматриваемых классов.
Монография предназначена для широкого круга химиков.